«ПЛАНАР» и «Активная Фотоника» разработают комплекс для измерений на полупроводниковой пластине

56 минут назад

© RUБЕЖ

Компании «ПЛАНАР» и «Активная Фотоника» подписали на форуме «Микроэлектроника-2026» соглашение о научно-техническом сотрудничестве в области разработки аппаратно-программного комплекса для измерений на пластине. Подписи под документом поставили коммерческий директор ООО «ПЛАНАР» Василий Чехутский и коммерческий директор ООО «Активная Фотоника» Дмитрий Дроботов. Церемония состоялась по итогам финальной рабочей встречи сторон, прошедшей в рамках деловой программы форума на федеральной территории «Сириус».

ООО «ПЛАНАР» — челябинское предприятие, основанное в 1992 году. Компания более 30 лет занимается разработкой и производством высокотехнологичного электронного оборудования, прежде всего контрольно-измерительных решений для СВЧ-электроники. Основной продукцией «ПЛАНАР» являются векторные анализаторы цепей — сложные и востребованные приборы для характеризации СВЧ-устройств. Сейчас компания производит векторные анализаторы цепей с полосой до 54 ГГц, а совместно с партнёрами представила конвертеры для работы с частотами до 178 ГГц.

Отдельное направление работы «ПЛАНАР» — комплексные решения для измерений параметров ВЧ и СВЧ-устройств непосредственно на полупроводниковой пластине. Компания поставляет ручные и автоматические зондовые станции, контрольно-измерительные приборы, ВЧ-головки, калибровочные пластины и проб-карты, а также специализированное программное обеспечение для автоматизации процесса измерений и формирования отчётов. Предприятие также разрабатывает специализированную оснастку на собственном производстве. Среди областей применения решений «ПЛАНАР» — характеризация устройств для создания моделей и отработки техпроцесса, тестирование силовых устройств на пластине до 10 кВ и 600 А, Load-Pull измерения, анализ отказов, тестирование устройств кремниевой фотоники и МЭМС.

ООО «Активная Фотоника» — российский разработчик и производитель современного научного и аналитического оборудования для задач микроскопии, спектроскопии и исследования материалов. Компания входит в ГК «НТ-МДТ» и является резидентом «Сколково». Основной стек технологий включает оптическую и стилусную профилометрию, высокостабильные источники лазерного излучения, оптическую микроскопию, спектроскопию комбинационного рассеяния света, а также технологии автоматического определения дефектов с применением нейросетевых алгоритмов.

В продуктовом портфеле компании — спектрометр LS RamBo 620, профилометр uSTEP 300, установка атомно-силовой микроскопии pSTEP 300, автоматизированная зондовая станция uPROBE 200 и инспекционная машина uVISION 300. Приборы создаются на единой платформе, что позволяет дооснащать их новыми функциями и сокращать затраты на обновление парка оборудования до 50 процентов. Технологии «Активной Фотоники» применяются в микроэлектронике, интегральной фотонике, квантовых технологиях и разработке новых материалов.

«Активная Фотоника» в 2026 году анонсировала участие в выставке форума с универсальным профилометром uSTEP 300 с новой AFM-головкой. Компания также вошла в число участников объединённого стенда Минпромторга России на Китайской выставке полупроводникового оборудования, материалов и основных компонентов, что подчёркивает её роль как экспортно-ориентированного производителя измерительной техники.

«ПЛАНАР» на протяжении многих лет участвует в отраслевых выставках и форумах, включая ExpoElectronica, «Связь» и Санкт-Петербургский форум по микроэлектронике, где традиционно выступает спонсором и демонстрирует передовые измерительные решения.

Соглашение, подписанное на форуме «Микроэлектронике-2026"», открывает несколько форматов сотрудничества между компаниями. Совместная разработка аппаратно-программного комплекса для измерений на пластине, объединяющего измерительные решения «ПЛАНАР» и аналитические возможности «Активной Фотоники». Интеграция зондовых станций «ПЛАНАР» с профилометрами и микроскопами «Активной Фотоники» в единую измерительную платформу с общим программным обеспечением. Создание совместных решений для входного, межоперационного и выходного контроля изделий на разных этапах производства. Также разработка специализированной оснастки и калибровочных средств для совместного измерительного комплекса.

Наконец,  проведение совместных технических семинаров и демонстраций для предприятий микроэлектронной отрасли. «ПЛАНАР» уже имеет опыт организации подобных мероприятий: в мае 2026 года компания провела совместный технический семинар с НИУ МИЭТ, посвящённый проектированию СВЧ-устройств нитрид-галлиевой технологии от тестирования компонентов на пластине до экстракции моделей и проектирования МИС.

Форум «Микроэлектроника-2026» традиционно собирает представительную делегацию компаний, работающих в смежных сегментах — от разработки САПР и измерительного оборудования до производства электронной компонентной базы.

Ранее RUБЕЖ сообщал о заключении соглашения между Национальным исследовательским университетом «Московский институт электронной техники» и Сианьским университетом электронной науки и техники на форуме «Микроэлектроника -2026». Научные центры планируют открыть Международную совместную лабораторию интегральных схем и микросистем.