«Микрон» получит 1,56 миллиардов рублей на разработку отечественного оборудования для выпуска чипов

1 час назад

© freepik.com

Зеленоградский завод «Микрон» (входит в микроэлектронную группу «Элемент») займется созданием автоматизированной установки для измерения рассовмещения топологических слоев на кремниевых пластинах. Оборудование необходимо для производства микросхем. Стоимость контракта с Минпромторгом составляет 1,56 млрд рублей.

Детали проекта

Разработка ведется под шифром «Лучник». Заказ от министерства поступил зимой 2025 года, первоначально на эти цели выделяли 1,61 млрд рублей. Таким образом, снижение цены контракта в ходе торгов составило 48,3 млн рублей. В конкурсе участвовали две компании, однако имя второго претендента в документах не раскрывается.

Согласно техническому заданию, «Микрон» должен создать аналог американской установки ARCHER 10 XT производства компании KLA TENCOR (США). Примечательно, что название американского прибора Archer в переводе на русский полностью совпадает с шифром отечественной разработки — «Лучник».

Технические характеристики

Разрабатываемое оборудование должно в автоматическом режиме измерять рассовмещение топологических слоев на кремниевых пластинах диаметром до 200 мм. Работы ведутся под проектные нормы до 130 нанометров. Установка должна сканировать структуры слоев с помощью встроенного в оптическую колонну интерферометра и формировать пакет данных для коррекции процесса экспонирования. Производительность устройства должна составлять не менее 75 пластин в час. Завершить все работы необходимо до 31 июля 2029 года.

Мнения экспертов о сложности проекта

Специалисты отрасли оценивают проект как крайне сложный. Независимый эксперт и автор Telegram-канала RUSmicro Алексей Бойко пояснил, что речь идет о разработке высокотехнологичной установки на стыке оптики, прецизионной механики, электроники и программного обеспечения. Уровень сложности, по его словам, сопоставим с созданием фотолитографа.

Рассовмещение слоев требуется контролировать с точностью до нанометров, а погрешность измерений должна быть еще меньше. Это предъявляет исключительно высокие требования к оптике и предметному столику, перемещения которого также должны отслеживаться с нанометровой точностью. Работа с пластинами разного диаметра многократно усложняет проектирование.

Эксперт компании Strategy Partners Анна Васильева добавила, что ключевой вызов — в разработке алгоритмов машинного зрения. Они должны за миллисекунды обрабатывать изображения меток совмещения с учетом шумов и особенностей рельефа. Кроме того, необходима интеграция системы в реальную производственную линию, где на точность влияют вибрации, перепады температур и автоматический режим работы без участия оператора.

Оценка бюджета и сроков

Глава компании «Троичные технологии» Александр Тимошенко считает сумму в 1,56 млрд рублей адекватным бюджетом именно для опытно-конструкторской работы, а не для серийного производства.

При этом эксперты расходятся во мнениях относительно реалистичности сроков. Алексей Бойко назвал выбранные сроки чрезмерно жесткими. Основной проблемой, по его мнению, может стать оптика, если разработка ведется с нуля и отсутствует необходимый задел. Анна Васильева согласна, что для укладывания в сроки нужна уже готовая научная база и безупречная работа с поставками компонентов.

В то же время Александр Тимошенко отметил важное преимущество: «Микрон» выступает одновременно разработчиком и конечным потребителем. Наличие собственной линии на 200 мм позволит обкатывать установку в реальном производстве. Это, по его мнению, существенно повышает шансы уложиться в директивный срок до 2029 года.

Ранее «RUБЕЖ» сообщал, что на маркетплейсе Ozon в линейке продукции Микрона, крупнейшего производителя российской микроэлектроники добавились три новых позиции, NFC и UHF метки радиочастотной идентификации.