/ /

МИЭТ совместно с ГК «Микрон» и Зеленоградским нанотехнологическим центром разработают оборудование для производства микросхем 28 нм

МИЭТ совместно с ГК «Микрон» и Зеленоградским нанотехнологическим центром разработают оборудование для производства микросхем 28 нм

11 мая 2022, 21:56    7977

Научно-исследовательскую работу по изучению возможности разработки установки безмасочной рентгеновской нанолитографии с длиной волны 13,5 нм на базе синхротронного либо плазменного источника выполняют ученые Центра коллективного пользования «Микросистемная техника и электронная компонентная база» МИЭТ. В случае успеха исследования в России появится уникальное оборудование для производства микросхем топологического уровня 28 нм и меньше. В сентябре 2021 года МИЭТ получил грант Минобрнауки на реализацию проекта в области синхротронных исследований, сообщает сайт университета.

Основной задачей исследователей станет проверка основных технологических решений в области безмасочной рентгеновской нанолитографии. На основе полученных результатов будет разработан технический облик будущей литографической установки, выработаны и обоснованы параметры ее ключевых узлов: источника рентгеновского излучения, оптической системы (включая МЭМС динамической маски), вакуумной системы, системы совмещения и позиционирования.

Создание технологии и оборудования на базе действующих и запускаемых в стране синхротронов, в частности, на синхротроне ТНК «Зеленоград», НИЦ «Курчатовский институт», а также на базе отечественных плазменных источников, позволит обрабатывать полупроводниковые пластины с проектными нормами 28 нм, 16 нм и ниже.

Отечественные и мировые аналоги подобного оборудования и самой технологии безмасочной рентгеновской нанолитографии на сегодняшний день отсутствуют.

«Это поисковый аванпроект, в ходе которого проверяется сама возможность переноса изображения при помощи МЭМС динамической маски. Мы должны показать, что система работает надежно, пройдет все испытания и метрологические тесты. Если эта работа завершится успешно, за ним последует опытно-конструкторский проект по созданию литографической установки», – говорит доктор технических наук, профессор, проректор по научной работе МИЭТ Сергей Александрович Гаврилов.

В команде проекта – около 50 сотрудников МИЭТа и ЦКП «МСТ и ЭКБ», в том числе молодые кандидаты наук и аспиранты. В тесной кооперации с МИЭТом над проектом работают завод «Микрон» и резидент ОЭЗ «Технополис Москва» Зеленоградский нанотехнологический центр (ЗНТЦ) – их производственные возможности будут использованы для изготовления образцов МЭМС динамической маски. В Институте физики микроструктур РАН (ныне филиал Института прикладной физики РАН, Нижний Новгород) и зеленоградском АО «НПП «ЭСТО» конструируют оптическую вакуумную систему с зеркальной оптикой и элементы системы позиционирования. Для испытаний будет использован источник плазмы, разработанный в Институте спектроскопии (ИСАН) РАН (Троицк).

Проект реализуется до конца 2022 года по заказу Министерства промышленности и торговли Российской Федерации в рамках государственной программы «Развитие электронной и радиоэлектронной промышленности».

Фото - phonoteka.org

Свежее

 Журнал RUБЕЖ  Пожарная безопасность  Транспортная безопасность

Yandex.Дзен

Подписывайтесь на канал ru-bezh.ru
в Яндекс.Дзен

Яндекс.Директ

RUБЕЖ в vk RUБЕЖ на dzen RUБЕЖ на youtube RUБЕЖ в telegram+ RUБЕЖ-RSS

Контакты

Адрес: 121471, г. Москва, Фрунзенская набережная, д. 50, пом. IIIа, комн.1

Тел./ф.: +7 (495) 539-30-20

Время работы: 9:00-18:00, понедельник - пятница

E-mail: info@ru-bezh.ru


Для рекламодателей

E-mail: reklama@ru-bezh.ru

тел.: +7 (495) 539-30-20 (доб. 103)

total time: 1.4812 s
queries: 259 (0.8336 s)
memory: 16 384 kb
source: database
Выделите опечатку и нажмите Ctrl + Enter, чтобы отправить сообщение.